프로그램
세션 트랙
10월 20일 (수요일)
반도체2
NEW-HORIZON I: 반도체 소부장 2주년 우리의 현재와 미래 심포지엄
좌장 : 김형준(한국과학기술연구원(KIST)) 15:20-17:00
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반도체2-1
15:20
EUV 리소그라피 산업화 현황과 국내 소재/부품/장비 기술의 준비상황
안진호* (한양대학교 공과대학 신소재공학부, 국가연구협의체 EUV-IUCC)
반도체2-2
15:50
차세대 3차원 패터닝 기술
전석우* (한국과학기술원 신소재공학과)